机译:等离子体增强原子层沉积AIN薄膜中的电流传输机制
机译:通过等离子体增强原子层沉积法沉积的AlN薄膜的双极电阻转换特性
机译:用于AlN / GaN异质结构TFT的AlN外延薄膜的等离子体增强原子层沉积
机译:等离子体增强原子层沉积钨膜的前体吸附机理,生长特性和电性能通过使用氧化钨前体沉积钨膜
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:等离子体增强原子层沉积的AlN薄膜中的电流传输机制